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SnO2超微粒子薄膜的气敏特性研究
SnO2超微粒子薄膜的气敏特性研究
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:minglinjiang
【摘 要】
:
作者用自行设计的直流气体放电活化反应蒸发装置制备出平均粒径约为40nm的SnO_2超微粒子薄膜.研究了不同氧分压下所得SnO_2超微粒膜的形貌、结构和组成等特性,以及不同样品对
【作 者】
:
陆慧
朱以华
【机 构】
:
华东化工学院物理系
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
1994年1期
【关键词】
:
氧化锡
薄膜
灵敏度
气敏特性
tin dioxideultrafine particle filmsstructuresensitivity
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助
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作者用自行设计的直流气体放电活化反应蒸发装置制备出平均粒径约为40nm的SnO_2超微粒子薄膜.研究了不同氧分压下所得SnO_2超微粒膜的形貌、结构和组成等特性,以及不同样品对各种易燃气体的气敏特性,得出了灵敏度随氧分压及灵敏度随工作温度的变化曲线.
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