【摘 要】
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主要介绍了基于MEMS的微泵10年来的研究成果和研究现状.微泵是微电子机械系统(MEMS)中重要的执行器件,在系统中占有很重要的地位.微泵可以分为有阀泵和无阀泵两大类,一般来说
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主要介绍了基于MEMS的微泵10年来的研究成果和研究现状.微泵是微电子机械系统(MEMS)中重要的执行器件,在系统中占有很重要的地位.微泵可以分为有阀泵和无阀泵两大类,一般来说,有阀泵的制造工艺和应用技术比较成熟,但存在加工尺寸限制和使用寿命的问题;无阀泵的原理新颖,结构相对简单,更适合微型化发展,是目前研究的热点.
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