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多晶硅有晶体管直流特性研究
多晶硅有晶体管直流特性研究
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:changaty
【摘 要】
:
研究了砷注入多晶硅发射极晶体管的直流特性,并与采用常规平面工艺制作的晶体管性能的进行比较。结果表明多晶硅发射极晶体管具有较高的发射效率,高的电流能力,改善了EB击穿和CB击穿
【作 者】
:
刘英坤
张大立
【机 构】
:
电子工业部第十三研究所
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1999年1期
【关键词】
:
多晶硅发射极
砷注入
电流增益
掺杂
晶体管
Polysilicon emitterArsenic implantationCurrent gain
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研究了砷注入多晶硅发射极晶体管的直流特性,并与采用常规平面工艺制作的晶体管性能的进行比较。结果表明多晶硅发射极晶体管具有较高的发射效率,高的电流能力,改善了EB击穿和CB击穿,电流增益依赖于淀积多晶硅前的表面处理条件。
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