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本文介绍了智能化硅-蓝宝石高温传感器的微机检测、运算处理和控制.由半导体工艺制成的硅压阻传感器,当其把压力信号转换为电信号以后,再由微机对检测的信号压力零点及灵敏度的温度补偿以及对压力非线性特性进行校正,最后对测量结果进行标定变换并显示.取得了理想的测量和控制效果.
智能高温压力传感器的研制
【摘 要】
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本文介绍了智能化硅-蓝宝石高温传感器的微机检测、运算处理和控制.由半导体工艺制成的硅压阻传感器,当其把压力信号转换为电信号以后,再由微机对检测的信号压力零点及灵敏度的温度补偿以及对压力非线性特性进行校正,最后对测量结果进行标定变换并显示.取得了理想的测量和控制效果.
【机 构】
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哈尔滨商业大学,哈尔滨师范大学
【出 处】
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哈尔滨师范大学自然科学学报
【发表日期】
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2002年02期
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