【摘 要】
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本文提出一种校准真空规的新方法。该方法压强的变化服从P=Ke~(-Ck/V_1)t,其中K由真空室初始压强及系统中小孔的流导所决定的常数,Ck由通入校准室的小孔流导所决定,通过测量时间t可得到校准压强。文中简述了实验系统的建立过程并给出一些设计考虑。当系统获得10~(-9)托真空度后,用氮气和氩气作校准,得到比较一致的结果。分析了存在于系统中的误差,估计出系统的不确定度在5.2％。
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本文提出一种校准真空规的新方法。该方法压强的变化服从P=Ke~(-Ck/V_1)t,其中K由真空室初始压强及系统中小孔的流导所决定的常数,Ck由通入校准室的小孔流导所决定,通过测量时间t可得到校准压强。文中简述了实验系统的建立过程并给出一些设计考虑。当系统获得10~(-9)托真空度后,用氮气和氩气作校准,得到比较一致的结果。分析了存在于系统中的误差,估计出系统的不确定度在5.2％。
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