用于非球面绝对检测的计算全息位相探测类剪切干涉法

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分析了计算全息位相探测干涉仪系统的原理特点,提出三波面类剪切干涉法,以消除系统误差,提高非球面检测精度,达到绝对测量的目的。该法使用CGH位相探测干涉仪测量精度提高到λ/50。
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