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用于非球面绝对检测的计算全息位相探测类剪切干涉法
用于非球面绝对检测的计算全息位相探测类剪切干涉法
来源 :天津大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:weihc
【摘 要】
:
分析了计算全息位相探测干涉仪系统的原理特点,提出三波面类剪切干涉法,以消除系统误差,提高非球面检测精度,达到绝对测量的目的。该法使用CGH位相探测干涉仪测量精度提高到λ/50。
【作 者】
:
戴晓芳
魏耀林
【机 构】
:
精密仪器与光电子工程学院
【出 处】
:
天津大学学报
【发表日期】
:
1996年5期
【关键词】
:
计算全息图
类剪切干涉法
非球面面形
绝对检测
computergenerated hologram (CGH)
aspherical surface
in
【基金项目】
:
机械工业部技术发展基金
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分析了计算全息位相探测干涉仪系统的原理特点,提出三波面类剪切干涉法,以消除系统误差,提高非球面检测精度,达到绝对测量的目的。该法使用CGH位相探测干涉仪测量精度提高到λ/50。
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