【摘 要】
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为解决纳米技术中体积紧凑、高分辨率的测角问题,分析了表面等离子体波共振(SPR)的相位和振幅特征,根据共振角附近SPR的相位对入射角的高度敏感性,提出了基于表面等离子体波
【机 构】
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清华大学物理系,北京,100084
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为解决纳米技术中体积紧凑、高分辨率的测角问题,分析了表面等离子体波共振(SPR)的相位和振幅特征,根据共振角附近SPR的相位对入射角的高度敏感性,提出了基于表面等离子体波共振原理进行微小角度测量的方法,它具有测量分辨率高和体积紧凑的优点.研制了实验装置并进行了测角实验,测量分辨率达1.4×10-7 rad,长期稳定性偏差为4.8×10-7 rad.该方法可满足纳米机械的测角要求.
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