【摘 要】
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准确掌握射频微机电（RFMEMS）器件的电磁特性是WSN节点射频收发前端设计可靠与否的关键,为解决RFMEMS器件时变结构的电磁特性数值计算问题,建立了RFMEMS器件垂直运动结构的机电
【机 构】
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北京邮电大学自动化学院,北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
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准确掌握射频微机电（RFMEMS）器件的电磁特性是WSN节点射频收发前端设计可靠与否的关键,为解决RFMEMS器件时变结构的电磁特性数值计算问题,建立了RFMEMS器件垂直运动结构的机电耦合模型,实现了模型的时域离散,在时域有限差分的基础上,提出电（磁）介质参数插值的新思路,详细阐述了线性电（磁）介质参数插值法的基本思想,并推导了一维线性插值的计算公式。仿真实验结果表明,该计算方法具有易实现、速度快、效率高的特点。
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