【摘 要】
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介绍了自主开发的基于输运理论和蒙特卡罗方法的计算离子注入射程分布的软件集成系统JTU -PRII(JiaotongUniversity -ProjectRangeIonImplantation) ,该系统整体上具有通用性
【机 构】
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上海交通大学材料学院!上海200030,哈尔滨工业大学材料学院!黑龙江哈尔滨150001,上海材料研究所!上海200030
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介绍了自主开发的基于输运理论和蒙特卡罗方法的计算离子注入射程分布的软件集成系统JTU -PRII(JiaotongUniversity -ProjectRangeIonImplantation) ,该系统整体上具有通用性、高效性和实用性 .通用性即 :该系统具有注入离子参数库和注入零件材料库的生成和调用功能 ,能计算各种注入条件下 ,包括各种注入离子 ,各种成分和形状的靶材 ,不同注入能量、注入剂量和注入角度时注入离子在靶材中的分布 ;高效性即 :由于在关键步骤中用数值拟合公式代替了数值迭代求解 ,用固定
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