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本文模拟浮法玻璃在线CVD镀膜工艺，利用常压化学气相沉积小型镀膜机，以TiCl4和NH3作为反应物前驱体，成功地在玻璃表面镀制一层TiN薄膜，获得了具有高阻隔紫外及反射红外的多功能镀膜玻璃。对其性能进行分析显示：随着反应物NH。流量的增加，TiN薄膜阻隔紫外线的性能逐渐提高，在近红外区的Drude型反射区域有所缩小，但其在高频近红外波段的反射率有所提高。当NH。达到300sccm时，能够完全阻隔低于380nm的紫外线波段，反射红外线效果良好。随着基板移动速率的增大，在一定程度内可以提高薄膜对近红外线的反射