【摘 要】
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自从五十年代人们发明了晶体管以来,硅单晶一 直在现代微电子技术中担当主角.但在未来微电子技 术的发展中,Si的地位将有可能不断下降.这是由Si 本身的性能造成的:Si的载流子
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自从五十年代人们发明了晶体管以来,硅单晶一 直在现代微电子技术中担当主角.但在未来微电子技 术的发展中,Si的地位将有可能不断下降.这是由Si 本身的性能造成的:Si的载流子迁移率、载流子饱和 漂移速率都小于GaAs,Si集成电路的运算速度远慢于 GaAs集成电路.又由于Si属间接能
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