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本文研究了在不同加速电压、电子束电流、电子束直径及电子束与样品作用方式下碱金属硅酸盐玻璃中微区成分的变化规律,指出加速电压越低,电子束电流越小,电子束直径越大,越能使玻璃中Na_(Kα),K_(Kα)等特征X射线的强度趋于稳定,并提出采用电子束扫描而不是定点的定量分析才能得到较精确的结果的新方法.