【摘 要】
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反应溅射是制造化合物薄膜最通用的一种技术,至关重要的是靶由金属模式过渡到氧化物模式的临界条件.我们研究了Al-O2反应溅射过程中,总气体流量与溅射功率对临界靶过渡模式的
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反应溅射是制造化合物薄膜最通用的一种技术,至关重要的是靶由金属模式过渡到氧化物模式的临界条件.我们研究了Al-O2反应溅射过程中,总气体流量与溅射功率对临界靶过渡模式的影响.发现在临界条件下,溅射出的Al原子数(NA1)与供给的O原子数(No)之比几乎是常数,NAl/No接近于Al2O3的理想化学配比(2∶3).因而可认为,导入的氧几乎完全被Al原子结合,靶仍处于临界条件以下,仍为金属模式.提高供给的O原子量至超过Al2O3的理想化学配比,则输入的氧量超过反应结合效应的氧量,等离子体中氧的浓度突然提高,靶的模式由金属模式变为氧化物模式.
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