【摘 要】
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提出一种基于统计逼近的改进Stoilov算法，可以除去光学元件检测中展开相位时遇到的奇异点和超大误差，提高测量精度。通过重构瑕疵表面3维形貌，并对规则几何形状光学元件表面进行
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提出一种基于统计逼近的改进Stoilov算法，可以除去光学元件检测中展开相位时遇到的奇异点和超大误差，提高测量精度。通过重构瑕疵表面3维形貌，并对规则几何形状光学元件表面进行拟合，建立光学元件瑕疵检测理论模型，可以有效对光学元件表面瑕疵进行检测。把该算法和模型运用到光学平晶瑕疵检测中，测出光学平晶的微小划痕深度为40 nm。
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