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对于直线电机驱动XY平台，非线性的系统动态、曲线轨迹的轮廓误差模型相对复杂以及传统控制无系统化参数调整规则等问题影响其轮廓加工精度。采用适用于多轴非线性运动系统轮廓控制的等效误差法，建立可用于一般曲线且容易计算的XY平台等效误差非线性模型，使轮廓控制问题转换为稳定化的问题。对非线性误差动态模型进行反馈线性化处理后设计状态反馈控制器，使轮廓误差趋近于零。理论推导与仿真结果表明所设计控制系统能有效提高XY平台的轮廓加工精度。