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本文从评价圆柱状金属膜电阻器激光刻螺线槽槽纹质量，分析槽纹误差产生的原因，影响因素及减小路径。
电阻器激光刻螺线槽槽纹质量分析
【摘 要】
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本文从评价圆柱状金属膜电阻器激光刻螺线槽槽纹质量，分析槽纹误差产生的原因，影响因素及减小路径。
【机 构】
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安徽光电技术研究所
【出 处】
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光电子技术与信息
【发表日期】
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1999年5期
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