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<正>4月25日,由北京矿冶研究总院北矿新材科技有限公司为主承担的由国家科技部组织的国际合作项目"极大规模集成电路刻蚀机用高纯氧化钇涂层联合研发"验收会在北京举行。该项目的成功实施,标志着极大规模集成电路芯片
“极大规模集成电路刻蚀机用高纯氧化钇涂层联合研发”项目通过验收
【摘 要】
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<正>4月25日,由北京矿冶研究总院北矿新材科技有限公司为主承担的由国家科技部组织的国际合作项目"极大规模集成电路刻蚀机用高纯氧化钇涂层联合研发"验收会在北京举行。该项
【出 处】
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稀土信息
【发表日期】
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2013年06期
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