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实用型硅单晶中氧、碳含量自动测量分析软件是WQF系列傅立叶变换红外光谱仪的中文显示专用软件,主要用于硅单晶(直拉硅、区熔硅)中氧、碳含量测量。
实用型硅单晶中氧、碳含量自动测量系统
【摘 要】
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实用型硅单晶中氧、碳含量自动测量分析软件是WQF系列傅立叶变换红外光谱仪的中文显示专用软件,主要用于硅单晶(直拉硅、区熔硅)中氧、碳含量测量。
【机 构】
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信息产业部电子第四十六研究所,北京第二光学仪器厂
【出 处】
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现代仪器
【发表日期】
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2001年05期
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