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多晶硅铸锭炉加热室的结构设计技术分析
多晶硅铸锭炉加热室的结构设计技术分析
来源 :科技创新与应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a0p5c115f6e
【摘 要】
:
多晶硅铸锭炉的加热室的结构设计对多晶硅锭的熔铸,有着重要的作用和意义。加热室是多晶硅铸锭炉的重要组成部分,对多晶硅锭的生产过程有着调整作用,需要优化结构设计,提高加热室
【作 者】
:
侯春娟
杨莉娜
【机 构】
:
晶海洋半导体材料(东海)有限公司,罗盖特(中国)精细化工有限公司
【出 处】
:
科技创新与应用
【发表日期】
:
2013年36期
【关键词】
:
多晶硅铸锭炉
加热室
结构设计
技术分析
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多晶硅铸锭炉的加热室的结构设计对多晶硅锭的熔铸,有着重要的作用和意义。加热室是多晶硅铸锭炉的重要组成部分,对多晶硅锭的生产过程有着调整作用,需要优化结构设计,提高加热室的结构设计技术。文章简述多晶硅铸锭炉,分析多晶硅铸锭炉加热室的结构设计,研究提高多晶硅铸锭炉加热室结构设计的影响。
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