扫描电镜用于人工蛋白石模板中填充InP的形貌研究

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【摘要】

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扫描电子显微镜是对人工欧泊光子晶体进行形貌观察、研究的重要手段.本文利用扫描电子显微镜对人工欧泊晶体及其填充InP后的形貌进行了分析.结果发现,二氧化硅微球短程有序而

【作者】

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谭春华范广涵许静李述体周天明龙永福孙

【机构】

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华南师范大学光电子材料与技术研究所,国防科技大学航天与材料工程学院

【出处】

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人工晶体学报

【发表日期】

：

2005年1期

【关键词】

：

人工欧泊光子晶体形貌二氧化硅微球空位蛋白石空隙结晶质量失配短程 artificial opal photonic crystal MOCVD

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展计划(973计划)

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扫描电子显微镜是对人工欧泊光子晶体进行形貌观察、研究的重要手段.本文利用扫描电子显微镜对人工欧泊晶体及其填充InP后的形貌进行了分析.结果发现,二氧化硅微球短程有序而在较大的区域则出现台阶、空位和失配等缺陷;在选定生长条件下,InP在SiO2球空隙间具有较高的填充率和较好的结晶质量.此项研究为制备三维InP光子晶体提供了科学依据.

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