【摘 要】
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记录并标识了氩气微波电子回旋共振（ＥＣＲ）等离子体在可见光区的发射光谱谱线；测定了氩原子谱线和离子谱线强度随微波功率和氩气气压的变化关系．指出随着微波功率的增加，原子谱线和离子
【机 构】
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大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
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记录并标识了氩气微波电子回旋共振（ＥＣＲ）等离子体在可见光区的发射光谱谱线；测定了氩原子谱线和离子谱线强度随微波功率和氩气气压的变化关系．指出随着微波功率的增加，原子谱线和离子谱线强度均增加并且呈现饱和趋势
The emission spectral line of argon microwave electron cyclotron resonance (ECR) plasma in the visible region was recorded and identified. The relationship between the intensity of argon atomic line and ion spectrum with microwave power and argon pressure was measured. It is pointed out that with the increase of microwave power, both the intensity of atomic and ion lines increase and show a tendency of saturation
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