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本文对光子扫描隧道显微镜(PSTM)显微成像机理、成像规律做了较为系统的论述,针对具体的物理模型进行数值模拟计算,得到了与实际探测相一致的场分布规律。采用自行研制的PSTM的显微实验系统对多种样品进行了表面显微成像研究,获得了关于样品表面三维立体图像信息。通过多种图像处理手段对原始图像进行后期处理,得到了更具视觉效果、更为逼真的样品表面图像,为其广泛的应用奠定了技术基础。