【摘 要】
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文章讨论了精密激光干涉光谱仪器的干涉腔环境温控技术。激光干涉测量技术是一种高精度光学测量技术,广泛应用于长度测量、速度/加速度测量、光学参数测量、气体浓度测量、空
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文章讨论了精密激光干涉光谱仪器的干涉腔环境温控技术。激光干涉测量技术是一种高精度光学测量技术,广泛应用于长度测量、速度/加速度测量、光学参数测量、气体浓度测量、空气颗粒度测量等领域,具有非接触测量、精度高、灵敏度高、量程较大等显著优势,同时也对仪器设备的环境适应性设计提出了更高的要求。在基于干涉放大的吸收光谱腔的设计过程中,为避免由于温度、自振等干扰给系统带来的固有误差,在结构设计中采用应力屏蔽或吸收的形式能够很好的降低外界振动激励,而对于温度的响应就显得尤为重要。文章设计了一款用于激光干涉放大吸收光谱仪
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