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神光-Ⅲ主机装置中大口径光学元件的面形检测的质量控制对激光打靶精度有直接的影响。基于近红外大口径相移平面干涉仪测量反射镜面形为探讨对象,阐述实验室反射镜面形检测过程中的实验室环境控制、人员控制、面形检测仪器设备的使用、校准及维护、光学元件反射镜后期质量控制等因素,并分析各因素对检测数据的精确性、可靠性的影响,为后续光学元件面形检测提供借鉴与参考。