【摘 要】
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本文主要阐述了研制SPD—500D型rf电源的设计思想、电气原理及其在工业、科研中的应用。
This article describes the development of SPD-500D rf power supply design, el
【机 构】
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长沙半导体工艺设备研究所,长沙半导体工艺设备研究所
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本文主要阐述了研制SPD—500D型rf电源的设计思想、电气原理及其在工业、科研中的应用。
This article describes the development of SPD-500D rf power supply design, electrical principles and its application in industry, research.
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