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期刊论文
偏流对金刚石膜生长的影响
偏流对金刚石膜生长的影响
来源 :长春理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:maolinzhang
【摘 要】
:
采用电子辅助热灯丝化学气相沉积(EA-CVD)方法沉积大面积金刚石膜,在金刚石膜的沉积过程中,偏流对金刚石膜沉积的影响会直接影响着金刚石膜的生长和质量。用Raman、SEM等手段对金
【作 者】
:
支文
赵利军
毕冬梅
朱莉
【机 构】
:
长春大学理学院,长春大学特殊教育学院
【出 处】
:
长春理工大学学报
【发表日期】
:
2007年3期
【关键词】
:
金刚石膜
偏流
膜的质量
diamond film bias current quality of diamond films
【基金项目】
:
吉林省科技厅资助项目,低成本高能量密度锂离子电池正极材料的研制,合同编号:10647104吉教科合字[2005]第85号
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采用电子辅助热灯丝化学气相沉积(EA-CVD)方法沉积大面积金刚石膜,在金刚石膜的沉积过程中,偏流对金刚石膜沉积的影响会直接影响着金刚石膜的生长和质量。用Raman、SEM等手段对金刚石膜的生长特性进行了表征。
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