论文部分内容阅读
近三十多年来,半导体产业的发展大致遵循着英特尔前总裁摩尔(Moore)在70年代的大胆预测,集成电路的集成度及运算频率每隔18个月将会加倍(图1)。摩尔定律(Moore's Law)确立了集成电路设计制造的复杂度呈现定期级数增长的时代走向,也造就了今日产值数以百兆的大型高科技产业。为了降低单位制造成本及增加正品率和效能,半导体必须要极力缩减(shrink)其特征大小(feature size),许多制造及设计的困难度油然而生。为了达成此一目标,必要的超大型资本密集及智力密集拉高了企业入门的门槛,也