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4H-SiC外延层中堆垛层错与衬底缺陷的关联性研究网络首发

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：love283805004

【作 者】

：

郭钰 彭同华 刘春俊 杨占伟 蔡振立

【出 处】

：

无机材料学报

【发表日期】

：

2019年06期

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