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随着现代科技的发展应用,对零件的加工精度要求也从微米级提升到亚微米级、纳米级.超精密加工技术是实现这一目标的重要途径,其发展程度体现了一个国家制造技术的发展水平.超精密加工方法主要有传统的切削、磨削加工方法,还有利用声、光、电等能源对料进行加工和处理的方法,以及综合了多种加工方法的复合加工方法,目前,占主要地位的仍是传统的加工万法.