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本文讨论了激光对化学气相反应的增强机制和激光ＣＶＤ制备精细陶瓷薄膜系统的选择，介绍了激光ＣＶＤ在无机物薄膜制备中的应用和前景。
激光化学气相反应制备精细陶瓷膜
【摘 要】
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本文讨论了激光对化学气相反应的增强机制和激光ＣＶＤ制备精细陶瓷薄膜系统的选择，介绍了激光ＣＶＤ在无机物薄膜制备中的应用和前景。
【机 构】
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武汉工业大学
【出 处】
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硬质合金
【发表日期】
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1994年4期
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