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硅在KOH溶液和EPW中各向异性腐蚀的异同
硅在KOH溶液和EPW中各向异性腐蚀的异同
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huangom444
【摘 要】
:
<正>本文在文献(1~5)的基础上,进一步应用碰撞理论研究了硅在KOH溶液和EPW中各向异性腐蚀的机理,并给出了硅在这两种腐蚀液中各向异性腐蚀速率的实验结果.
【作 者】
:
温殿忠
庄玉光
【机 构】
:
黑龙江大学物理系
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
1995年2期
【关键词】
:
硅
氢氧化钾溶液
EPW
各向异性
腐蚀
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<正>本文在文献(1~5)的基础上,进一步应用碰撞理论研究了硅在KOH溶液和EPW中各向异性腐蚀的机理,并给出了硅在这两种腐蚀液中各向异性腐蚀速率的实验结果.
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