【摘 要】
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采用溶胶凝胶工艺，在Pt／Ti／SiO2／Si衬底制备了Mg掺杂Ba（Zr0．25Ti0．75）O3（BZT）薄膜．利用X射线衍射（XRD）和原子力显微镜（AFM）分析测定了物相微结构和薄膜表面形貌，研究了Mg掺杂含量对BZT微结构
【基金项目】
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湖北省自然科学基金项目（2008CDB262）,湖北省教育厅项目（Q20081304）
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采用溶胶凝胶工艺，在Pt／Ti／SiO2／Si衬底制备了Mg掺杂Ba（Zr0．25Ti0．75）O3（BZT）薄膜．利用X射线衍射（XRD）和原子力显微镜（AFM）分析测定了物相微结构和薄膜表面形貌，研究了Mg掺杂含量对BZT微结构和介电调谐性能的影响．结果表明Mg掺杂BZT使薄膜表面粗糙度、晶粒尺寸、介电常量、介电损耗和调谐量都降低；5mol％Mg掺杂BZT薄膜有最大的优值因子为16．3，其介电常数、介电损耗和调谐量分别为289．5、0．016和26．8％．
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