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单晶炉炉室真空密闭性能是衡量单晶炉设备性能好坏的重要因素。本文主要介绍的是在制造单晶炉炉室和装配调试过程中,采用不同的工艺循序渐进地对单晶炉真空密闭性能进行检验,从而提高单晶炉设备的性能。
单晶炉真空密闭性能的检验技术
【摘 要】
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单晶炉炉室真空密闭性能是衡量单晶炉设备性能好坏的重要因素。本文主要介绍的是在制造单晶炉炉室和装配调试过程中,采用不同的工艺循序渐进地对单晶炉真空密闭性能进行检验,
【机 构】
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浙江大学机械厂
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2005年01期
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