【摘 要】
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介绍了使用四极质谱计进行真空检漏的原理和方法,分别对超高和极高真空系统做了检漏实验研究,并取到了满意的结果。四极质谱计检漏有检漏仪检漏无法比拟的优点,适合在真空工
【机 构】
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兰州物理研究所,兰州物理研究所 甘肃兰州730000,甘肃兰州730000
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介绍了使用四极质谱计进行真空检漏的原理和方法,分别对超高和极高真空系统做了检漏实验研究,并取到了满意的结果。四极质谱计检漏有检漏仪检漏无法比拟的优点,适合在真空工程中推广应用。
The principle and method of vacuum leak detection using quadrupole mass spectrometer are introduced. The leak testing experiments on ultrahigh and very high vacuum systems are carried out respectively. Satisfactory results are obtained. Quadrupole mass spectrometer leak detector with leak detector incomparable advantages, suitable for promotion and application of vacuum engineering.
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