新型三维微动台的设计与试验分析

来源 :现代制造工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：applebanana0204

【摘要】

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研究设计一种新型的、以压电陶瓷为驱动器的三维微动台结构.该微动台以柔性铰链为弹性导轨实现了微定位.分析所采用的直圆柔性铰链的参数变化对其造成的性能影响;提出一种新

【作者】

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巩娟李庆祥李玉和

【机构】

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清华大学精密仪器与机械系

【出处】

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现代制造工程

【发表日期】

：

2005年2期

【关键词】

：

微动台柔性铰链压电陶瓷 Micro platform Flexure hinge PZT

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研究设计一种新型的、以压电陶瓷为驱动器的三维微动台结构.该微动台以柔性铰链为弹性导轨实现了微定位.分析所采用的直圆柔性铰链的参数变化对其造成的性能影响;提出一种新型柔性铰链结构,利用有限元分析软件ANSYS对这种新型结构进行理论分析和试验测试.试验表明:采用这种柔性铰链结构的微动台刚度比较小、运动耦合误差小,定位精度优于±0.01μm.

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