【摘 要】
:
80keV As~+注入Si其剂量达5×10~(15)cm~(-2)时,用透射电子显微镜观察到,在硅中形成1000A的非晶层,在非晶层的下面分布着位错环。还研究了瞬态退火和热退火过程中非晶层的相
【机 构】
:
北京师范大学低能核物理研究所,北京师范大学低能核物理研究所,北京师范大学低能核物理研究所,北京师范大学低能核物理研究所
论文部分内容阅读
80keV As~+注入Si其剂量达5×10~(15)cm~(-2)时,用透射电子显微镜观察到,在硅中形成1000A的非晶层,在非晶层的下面分布着位错环。还研究了瞬态退火和热退火过程中非晶层的相变和缺陷的演变过程,从而得到了最佳退火条件。并用扩展电阻仪测量了砷杂质的电激活过程。
When 80 keV As ~ + was implanted into Si at a dose of 5 × 10 ~ (15) cm ~ (-2), a transmission electron microscope was used to observe the formation of an amorphous layer of 1000 A in silicon and a Wrong ring. The phase transformation and defect evolution of amorphous layer during transient annealing and thermal annealing were also studied, and the optimal annealing conditions were obtained. The electrical activation of arsenic impurities was measured with an extended resistance meter.
其他文献
To better understand the nature of carbon nanotubes supported Co-Mo catalysts (Co-Mo/CNTs) for selective hy- drodesulfurization (HDS) of fluid catalytic crackin
结合教学实践案例,从演示实验的器材和教学设计的两个角度,介绍如何将魔术表演的元素渗透到实验演示中,实现课堂演示实验的魔术化,增强实验教学效果。
According to the cas
两千九百米的生死一悬,雪朗之尖的巅峰对决悬崖纵横间,沸腾奔流的热血,千丈一跃,拥揽激情因特拉肯。当你乘坐这摇摇欲坠的缆车登上峰顶、看着脚下无边的悬崖,踩着滑雪橇在陡
种种原因通常我们都是用真空热水瓶作为让热水保温的容器,但瓶中的热水仍然会逐渐冷却,这是由于热水会通过红外线的辐射而损失热量.美国斯坦福大学的Shanhui Fan博士和他的同
一、我国造纸情况我国纸的品种较多,但其原料主要分为木材纤维和非木材纤维两类。近年来,制浆造纸工业逐步重视木材纤维造纸,对木材原料的需要量已日益增多。我国1981年生产
视神经病变常指因炎症、中毒、多发性硬化和外伤等多种因素导致的以视神经变性、坏死和视功能异常为主的一种眼科相对急症,治疗以皮质类固醇为主,以往多应用地塞米松治疗,近3
党和政府号召我们为实现汉语规范化而努力。语言的规范包括着语音、词汇、语法各方面的问题,要做的事情很多,大家都有责任。有一条我们应该认识到的是:语言的规范必须寄托在
福建省尤溪县池田公社在落实林业生产责任制的基础上,于今年初建立了全县第一个林业股份公司,将集体的山林折股联营,较好地协调了统包结合和责权利的关系,调动了农民造林护
自1994年6月至2004年8月,我院遇到10例在青光眼术中发生的暴发性脉络膜上腔出血,现报告如下。
钽金属是一种化学性质很稳定的金属,室温下几乎不发生氧化.因而,钽金属薄膜被广泛地应用于微波混合集成电路、精密电阻、电容.由于钽的化学稳定性,其光刻腐蚀液便很难满足设