【摘 要】
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根据叉指换能器等效电路模型,通过实验证明了阻抗法是测量ZnO薄膜SAW机电耦合系数的简单而可靠方法.同时还对光照、相对湿度、温度以及测量静电容时频率的选择等对测量的影响
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根据叉指换能器等效电路模型,通过实验证明了阻抗法是测量ZnO薄膜SAW机电耦合系数的简单而可靠方法.同时还对光照、相对湿度、温度以及测量静电容时频率的选择等对测量的影响进行了实验分析.
According to the equivalent circuit model of the interdigital transducer, the impedance method is proved to be a simple and reliable method to measure the electromechanical coupling coefficient of the SAW ZnO thin film by experiments. At the same time, the relative illumination, relative humidity, temperature, The impact of measurement was analyzed experimentally.
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