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用原子束最精细地蚀刻芯片随着一种“印刷”集成电路的新技术的发展，预计计算机芯片将会比今天使用的功能更加强大和奇妙得多。通常芯片是用光蚀法制造的。这种方法通过类似于制造模版的过程把线路图印到芯片上。“模版”是一个能保护下面各层的某些特定区不受到蚀刻、覆...
用原子束最精细地蚀刻芯片
【摘 要】
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用原子束最精细地蚀刻芯片随着一种“印刷”集成电路的新技术的发展，预计计算机芯片将会比今天使用的功能更加强大和奇妙得多。通常芯片是用光蚀法制造的。这种方法通过类似于
【出 处】
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国外科技动态
【发表日期】
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1997年9期
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