【摘 要】
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采用四象限探测器接收干涉条纹进行位移测量时,干涉条纹的形状会影响各探测器之间的相位差.本文在建立干涉条纹形状与干涉夹角关系模型的基础上,提出了应用四象限探测器识别
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采用四象限探测器接收干涉条纹进行位移测量时,干涉条纹的形状会影响各探测器之间的相位差.本文在建立干涉条纹形状与干涉夹角关系模型的基础上,提出了应用四象限探测器识别干涉条纹形状的方法.通过干涉条纹光强面积分运算方法,推导了干涉条纹形状参数与探测器信号相位差之间的理论公式,并给出了相位差与干涉夹角之间的关系.利用PZT匀速驱动参考镜的方法实现了干涉条纹的动态调制,提高了信号相位差的识别精度.通过椭圆拟合技术实现了相位差在（0,π）的高精度识别,并结合特定的正余弦累积运算实现了（-π,π）相位差的识别,从而完成
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