【摘 要】
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以氧化锌铝陶瓷靶为溅射源,采用射频磁控溅射方法制备了铝掺杂氧化锌（AZO）无铟透明导电薄膜,通过X射线衍射仪、分光光度计和四探针仪等测试分析,研究了基板温度对薄膜晶体结构
【机 构】
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中南民族大学电子信息工程学院,中南民族大学计算与实验中心
【基金项目】
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湖北省自然科学基金资助项目（2009CDB166）, 中南民族大学学术团队基金资助项目（XTZ09003）
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以氧化锌铝陶瓷靶为溅射源,采用射频磁控溅射方法制备了铝掺杂氧化锌（AZO）无铟透明导电薄膜,通过X射线衍射仪、分光光度计和四探针仪等测试分析,研究了基板温度对薄膜晶体结构、力学和光电性能的影响.结果表明：所制备的AZO薄膜均为六角纤锌矿结构,并具有（002）择优取向,其晶体结构、残余应力、方块电阻、光学带隙以及优良指数等都与基板温度相关,当温度为400℃时,AZO薄膜的优良指数最大（0.40-Ω1）,具有最好的光电综合性能.
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