溶胶-凝胶法制备铁电薄膜及发展趋势

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溶胶-凝胶法是制备铁电薄膜的一种重要方法。综述了溶胶-凝胶法制备铁电薄膜的原理、工艺过程、特点。以及采用此方法制备出的某些材料的铁电性能。最后指出,溶胶-凝胶法制备铁电薄膜工艺仍需优化和改进。薄膜的质量亟待提高,以适应器件的要求。
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