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溶胶-凝胶法制备铁电薄膜及发展趋势
溶胶-凝胶法制备铁电薄膜及发展趋势
来源 :机电工程技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kxf2000
【摘 要】
:
溶胶-凝胶法是制备铁电薄膜的一种重要方法。综述了溶胶-凝胶法制备铁电薄膜的原理、工艺过程、特点。以及采用此方法制备出的某些材料的铁电性能。最后指出,溶胶-凝胶法制备铁
【作 者】
:
向飞
【机 构】
:
广东省机械研究所
【出 处】
:
机电工程技术
【发表日期】
:
2011年8期
【关键词】
:
溶胶-凝胶
铁电薄膜
应用
Sol-Gel
ferroelectric thin film
application
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溶胶-凝胶法是制备铁电薄膜的一种重要方法。综述了溶胶-凝胶法制备铁电薄膜的原理、工艺过程、特点。以及采用此方法制备出的某些材料的铁电性能。最后指出,溶胶-凝胶法制备铁电薄膜工艺仍需优化和改进。薄膜的质量亟待提高,以适应器件的要求。
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