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为提高真空下介质阻挡放电（DBD）的电源效率,考察其能效特性,利用正交设计法安排实验,研究了DBD放电等离子体激励电源的工作频率、占空比、放电环境气压和电极间隙对DBD放电能效的影响,通过方差分析寻找最优组合使电源效率最大化。研究结果表明,占空比是影响电源效率的主要因素,放电环境气压影响其次,加载电源频率和电极间隙大小对电源效率影响不显著。