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在这篇文章中报导了多层Ｓｉ／ＴｉＳｉ２－Ａｌ和Ｓｉ／ＴｉＳｉ２（ＴｉＮ）－Ｗ－Ａｌ系的研究情况。在研究过程中应用了透射电子显微镜，Ｘ射线微一分析和卢瑟夫反向散射波谱学法来多层膜系的形成条件和分析膜第层的万分，相互扩散情况以及交界面上的结构，从而，揭示形成最大热稳定性多层系的条件。
多层Si／TiSi2—Al和Si／TiSi2（TiN）—W—Al系合金热稳定性的研究
【摘 要】
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在这篇文章中报导了多层Ｓｉ／ＴｉＳｉ２－Ａｌ和Ｓｉ／ＴｉＳｉ２（ＴｉＮ）－Ｗ－Ａｌ系的研究情况。在研究过程中应用了透射电子显微镜，Ｘ射线微一分析和卢瑟夫反向散射波谱学法来多层膜系的形成条件和分析膜第层的万分，相互扩散情况以及
【机 构】
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北京工业大学北京100022
【出 处】
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国外金属热处理
【发表日期】
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1995年4期
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