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半导体工艺根据产品需要会有不同的工艺流程和对应的工艺参数,测试设备实现工艺质量的实时监控。分析半导体工艺线测试设备的需求,做测试应用技术研究。
半导体工艺测试设备应用技术研究
【摘 要】
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半导体工艺根据产品需要会有不同的工艺流程和对应的工艺参数,测试设备实现工艺质量的实时监控。分析半导体工艺线测试设备的需求,做测试应用技术研究。
【机 构】
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重庆声光电有限公司
【出 处】
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设备管理与维修
【发表日期】
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2018年12期
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