多晶硅定向生长的实验研究

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以埚底料为原料进行定向凝固实验,从晶体生长和提纯的角度分析,拉伸速度为20Mm/s是较优的实验条件。根据多晶硅锭纵截面的腐蚀照片和XRD晶体取向分析得出,底部定向生长的效果明显,〈111〉方向是晶体生长的主要方向,单向生长比较明显,铸锭中上部晶体取向变得相对混乱。此外,还利用晶体的淘汰机制和合并机制分析了晶体生长的过程。
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