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本文介绍了一种具有数显记录和语音播报功能的法布里-珀罗干涉测微仪,测量长度和位移范围在2mm以内,测量对象可以是各种薄片和细丝等。与其它干涉测微仪相比,具有更高的灵敏度和精度。文中分析了测微仪的各个部分的工作原理,运用它测量了铜片的厚度。
法布里-珀罗干涉测微仪
【摘 要】
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本文介绍了一种具有数显记录和语音播报功能的法布里-珀罗干涉测微仪,测量长度和位移范围在2mm以内,测量对象可以是各种薄片和细丝等。与其它干涉测微仪相比,具有更高的灵敏
【机 构】
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武汉轻工大学电气与电子工程学院
【出 处】
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科技视界
【发表日期】
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2013年23期
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