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采用溅射法在石英和316L不锈钢衬底上制备TiO2薄膜。采用x射线衍射仪（xRD）、扫描电镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）观察薄膜的微观结构和表面形貌。结果表明：沉积后的TiOz薄膜表面均匀、致密，为锐钛矿结构。600℃退火后，薄膜中有金红石相生成。基于透射谱，计算得到的薄膜光学带隙在3．2eV左右。在PBS模拟体液中，测试材料的动电位极化曲线。结果显示，沉积TiO。薄膜后，材料的耐腐蚀性得到改善。退火后，TiO2薄膜的自腐蚀电位正向移动94mV，自腐蚀电流最小，为4．828μA·cm-2。