论文部分内容阅读
用于Ф1．2mF／1．5主镜面形检验的补偿器，需要补偿0．087mm的非球面度，并满足0．033λ（RMS）面形检测要求。介绍了该补偿器的设计、误差分析、加工、标校及最终主镜检测的情况。主镜检测前用计算全息（CGH）对补偿器标校显示：补偿器产生的抛物面面形误差为0．012λ（RMS），二次曲面常数K的误差为0．0064％；主镜最终补偿检测结果为：面形误差0．027λ（RMS），二次曲面常数K的误差为0．0306％，与分析的结果相符。结果表明，补偿器设计合理，建立的误差分析原则和方法可行，加工质量可靠，为更