粗糙表面光学傅氏谱的数值分析及应用

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以傅立叶光学理论为基础,对一维随机表面光学傅立叶频谱强度分布的数学期望进行了理论分析和数值计算,得到不同表面参数对应的谱强度分布数值表达形式,计算结果与实验符合较好在此基础上提出一种可用于表面粗糙度在线检测的模式识别方法.
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