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粗糙表面光学傅氏谱的数值分析及应用
粗糙表面光学傅氏谱的数值分析及应用
来源 :天津大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:proshyrain
【摘 要】
:
以傅立叶光学理论为基础,对一维随机表面光学傅立叶频谱强度分布的数学期望进行了理论分析和数值计算,得到不同表面参数对应的谱强度分布数值表达形式,计算结果与实验符合较好在
【作 者】
:
郭育
叶声华
【出 处】
:
天津大学学报
【发表日期】
:
1994年5期
【关键词】
:
傅里叶光学
表面粗糙率
模式识别
random process
Fourier optics
DFT
surface roughness
pattern
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以傅立叶光学理论为基础,对一维随机表面光学傅立叶频谱强度分布的数学期望进行了理论分析和数值计算,得到不同表面参数对应的谱强度分布数值表达形式,计算结果与实验符合较好在此基础上提出一种可用于表面粗糙度在线检测的模式识别方法.
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