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介绍了利用AZ4620光刻胶制作截面为5μm×5μm微电镀模的工艺流程,详细说明了工艺流程中影响实验结果的实验参数以及实验参数的优化方法,并用实验结果说明了应该避免的实验误区.最后根据优化后的参数制作出满足课题需要的实验结果.
用Az4620制作微电镀模的工艺研究
【摘 要】
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介绍了利用AZ4620光刻胶制作截面为5μm×5μm微电镀模的工艺流程,详细说明了工艺流程中影响实验结果的实验参数以及实验参数的优化方法,并用实验结果说明了应该避免的实验误
【机 构】
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厦门大学机电工程系
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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福建省自然科学基金;Key Project of Science Plan of Fujian
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